1. Tinh khiết
Độ tinh khiết của mục tiêu phún xạ ít nhất phải là 99,95 phần trăm. Độ tinh khiết càng cao thì hiệu suất của màng phún xạ càng tốt.
2. Mật độ
Mật độ tương đối của mục tiêu phún xạ phải lớn hơn 98 phần trăm. Mục tiêu có mật độ cao hơn có thể làm giảm sự bắn tung tóe của các hạt màng trong quá trình phủ, do đó cải thiện chất lượng của màng.
3. Cấu trúc hạt
molypden mục tiêu phún xạ là một cấu trúc đa tinh thể. Trong quá trình phún xạ, các nguyên tử mục tiêu dễ dàng được phún xạ dọc theo hướng được sắp xếp chặt chẽ nhất của các nguyên tử lục giác. Để đạt được tốc độ phún xạ tối đa, cần phải tăng tốc độ phún xạ bằng cách thay đổi cấu trúc tinh thể của mục tiêu.
4. Cỡ hạt
Kích thước hạt có thể từ micron đến milimét. Tốc độ phún xạ của mục tiêu có hạt mịn nhanh hơn tốc độ phún xạ của mục tiêu có hạt thô và sự phân bố độ dày của màng lắng đọng cũng tương đối đồng đều đối với mục tiêu có chênh lệch kích thước hạt nhỏ.
5. Ràng buộc mục tiêu và khung gầm
Trước khi phún xạ, mục tiêu phải được kết nối với khung đồng không có oxy để đảm bảo độ dẫn nhiệt giữa mục tiêu và khung tốt. Sau khi liên kết, phải tiến hành kiểm tra siêu âm để đảm bảo rằng diện tích không liên kết của cả hai nhỏ hơn 2 phần trăm, để đáp ứng các yêu cầu của phương pháp phún xạ công suất cao.
